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第八十六章 质疑剽窃（第1页）

李皓深谙打人要打脸的道理，只可惜这回他们似乎是没脸来，重新又换了一批人。

虽然依旧那般的傲慢，年纪也是一般的大，但总归是差了点感觉。

正当李皓都不想搭理他们的时候，他们却又主动上门来找虐。

因为在光刻机研究卡壳在193nm的这些年里，日本和阿斯麦公司选择了不同的路线。

日本人坚持以往思路，继续迭代技术，去研发新的光源，坚持在传统干式微影技术上一条路走到底。

而阿斯麦则因为加入了美国牵头的EUV联盟，就主张使用极紫外技术生产设备。

从后面的发展情况来看，EUV技术无疑更先进，日本在选择传统派阵营时，其实就已经输了。

但事实上，日本人也并非不愿意尝试极紫外光技术，而是被美国别有用心的排除在了门外。

毕竟即使它们再怎么愿意当儿子，也架不住人家的忌惮。

就像是之前的广岛协议一般，美国是不会允许有人来实际威胁他们的地位的，即使是干儿子也不行。

只不过在现如今的阶段，因为技术储备的原因，双方暂时都没有达成目标。

不过相比于极紫外光技术依旧存在的很多技术难关，日本人这里的157nmF2激光的研发却已经有了实质性进展。

所以在这个时候，对于中国人弄出来的浸润式光刻机，就让他们极为排斥。

因为它们能从现有公布出来的数据中看出来，浸润式光刻机的后续开发空间巨大。

只需要调整光刻胶上面的液体密度，就能将193nm的光波长折射成需要的精度。

而且最重要的一点，这种浸入式方案属于小改进大效果，有着以往的产品经验，稳定性和开发速度必然都不是它们的新产品能比的。

要知道它们为此可是投入了重资，一旦先机被抢走了，那投进去的钱不就全打了水漂。

反观阿斯麦这里，见到了这台光刻机之后，反应也是非常强烈。

随即就找到了林奔坚询问情况，原来就在今年的早些时候，他们就已经和林奔坚取得了联系，并最终同意了对林奔坚给的浸润式方案进行实验。

结果他们这还在实验中的方案，现在却见这里已经拿出了成品，当然就想要问清楚。

林奔坚对此也是一头雾水，好在他脑子里面还有理智，没有选择直接跳出来。

而是在徐教授发完言下台后，赶忙就带着阿斯麦的人，找到了徐教授。

「徐教授，我想请问你们这个浸润式方案是从哪里来的？」

徐教授之前听李皓提起过这位，也听过他的一些研究方向。

所以对于他的质问，并没有太过意外：「这个自然是我们基于浸没式光刻技术，自行研发出来的成果，有什么问题吗？」

浸没式光刻起源于浸润式显微镜，是由一个意大利科学家在1855年发明的。

相对于光刻机是将图案缩小投影到光刻胶上，这个显微镜的功能则是将图案放大到ccd探测器上。

虽然是两个不同的领域，但根本的原理却是相通的，所以徐教授这么说也没问题。

可是架不住林奔坚不信啊，质疑道：「真的是这样吗？我记得之前，曾经有一位大陆人接触过我，希望我能加入到国内的实验室工作。

虽然当时他并没有说哪家实验室，但看现在情况，他应该和您是一起的吧。

您可能还不知道，我已经和阿斯麦公司达成了合作，也正在研究浸没式光刻机。」

听到这话，徐教授也是不由皱起了眉头：「所以你是怀疑，我

们偷取了你的研究成果？这简直就是个笑话。

就不说浸没式的概念，早在上个世纪就有人提出过，就算是有关光刻机的具体理论，也是在1980年，由列支敦士登公国的.tabarelli和E..Lobach提出。

并且还在美国申请了专利，这个和你好像也没什么关系吧，所以你指的偷取成果是从何而来。」

这话堵得正中核心，毕竟老美自己的专利认可，它们总不能来自打嘴巴。

徐教授这里聚集了一堆人，也让在后面关注的李皓注意到了。

于是便走了过来，询问发生了什么事情。

徐教授不客气的说道：「这位是台岛的林奔坚教授，刚刚质疑我们剽窃成果。」

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